適用于半導(dǎo)體精密加工的靜電式油霧凈化器
應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓切割、芯片鍵合、塑封成型、精密拋光等工序,斯普林特有的靜電吸附技術(shù),使設(shè)備在高效攔截油霧的同時(shí),實(shí)現(xiàn)自清潔免耗材。過(guò)濾效率達(dá) 95%,可實(shí)現(xiàn)室內(nèi)直排;變頻控制可根據(jù)工況實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)風(fēng)量,運(yùn)行低噪無(wú)震動(dòng),不影響精密設(shè)備穩(wěn)定工作,安全無(wú)火災(zāi)隱患。